国家知识产权局信息显示,芯栋微(上海)半导体技术有限公司申请一项名为“一种用于TGV电镀过程中自动补液装置、电镀系统及方法”的专利,公开号CN121593160A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于TGV电镀过程中自动补液装置、电镀系统及方法,包括电镀腔、外接槽体、循环系统、电势施加组件、电导率传感器及控制模块;外接槽体通过离子膜分隔为左腔室(设可溶性阳极)和右腔室(与电镀腔连通),右腔室阳离子浓度与电镀腔相同;电势施加组件可根据电镀工况调节左右腔室的电势差;电导率传感器实时检测电镀液电导率,控制模块基于电导率确定阳离子消耗量,闭环调节循环系统流速与电势差。本发明通过顺浓度差扩散与电势差协同作用,结合闭环控制,实现阳离子自动、连续、精准补充,解决了现有技术人工补加繁琐、浓度波动大、补充滞后等问题,有效提升电镀液稳定性、TGV填孔良率及镀层均匀性。
天眼查资料显示,芯栋微(上海)半导体技术有限公司,成立于1999年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本9748.444万人民币。通过天眼查大数据分析,芯栋微(上海)半导体技术有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目17次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息153条,此外企业还拥有行政许可13个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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