国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“示教用夹具、定位方法以及基板处理装置”的专利，公开号CN121604774A，申请日期为2025年5月。

专利摘要显示，本发明提供一种在利用等离子体的基板处理装置中能够使基板准确位于静电卡盘的中心位置的示教用夹具、定位方法以及基板处理装置。用于在根据本发明的利用等离子体的基板处理装置中确定基板移送位置的示教用夹具包括：下环，具有与在支承所述基板的静电卡盘的外侧形成的绝缘部件对应的形状；多个支承柱，从所述下环向上方延伸；上环，被所述支承柱支承且具有与所述下环相同的形状；多个透光模组，设置于所述上环且构成为向下方照射光；多个受光模组，位于所述透光模组的下方且构成为从所述透光模组接收光；以及多个紧固部件，从所述下环插入到形成于所述绝缘部件的紧固孔中。

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作者：情报员