国家知识产权局信息显示，优悦微系统有限公司申请一项名为“探针卡设备”的专利，公开号CN121595921A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，一种探针卡设备包括：载台、探针卡、固定装置及气压改变装置。载台用以承载待测物。探针卡包括多个探针，多个探针用以接触待测物以进行测试。固定装置连结探针卡与载台，固定装置、探针卡及载台结合形成密闭的测试腔室。气压改变装置连通于测试腔室，气压改变装置用以将测试腔室内的气压调整至预设气压。在预设气压下，载台及探针卡中至少一者受有应力。固定装置用以抵抗所述应力以维持密闭的测试腔室。通过气压改变装置调整测试腔室的压力，以及固定装置固定探针卡与载台以维持密闭的测试腔室，可有效抑制探针之间产生尖端放电的情况。

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作者：情报员