国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种介质窗冷却装置及等离子体刻蚀设备”的专利,公开号CN121601538A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本申请公开一种介质窗冷却装置及等离子体刻蚀设备。介质窗冷却装置用于冷却介质窗,所述介质窗的上方设有线圈,所述介质窗冷却装置包括导热件;所述线圈具有冷却腔,所述冷却腔连通有冷却介质源,所述导热件的上表面用于和所述线圈的下表面接触,所述导热件的下表面用于和所述介质窗的上表面接触。该介质窗冷却装置在应用时,能够提升介质窗的冷却效果。
天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目267次,财产线索方面有商标信息32条,专利信息488条,此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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