来源：新浪基金∞工作室

3月5日，半导体设备ETF（159516）开盘涨2.04%，报1.798元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘涨1.78%，中微公司涨2.18%，拓荆科技涨2.11%，长川科技涨3.02%，沪硅产业涨2.02%，华海清科涨2.21%，中科飞测涨2.96%，南大光电涨3.43%，安集科技涨2.22%，芯源微涨2.52%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为75.89%，近一个月回报为-2.08%。

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