国家知识产权局信息显示,华通芯电(南昌)电子科技有限公司申请一项名为“一种砷化镓晶圆侧蚀改善方法及晶圆结构”的专利,公开号CN121620109A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明提供一种砷化镓晶圆侧蚀改善方法及晶圆结构,所述方法包括提供一砷化镓晶圆;在所述砷化镓晶圆的正面形成保护层;将所述砷化镓晶圆的背面贴附于承载膜上;采用激光从所述砷化镓晶圆的正面进行切割,将其分割成多个晶粒,并在所述晶粒的切割道侧面形成重铸层;去除所述晶粒上的保护层,以使所述保护层带走切割时在其表面形成的切割残留物;对贴附有所述承载膜的所述晶粒进行热处理,使所述承载膜的胶粘层发生流变并部分包裹所述晶粒的背面及边缘;采用蚀刻液对所述晶粒的侧面进行蚀刻,以去除所述重铸层,其中,被所述胶粘层覆盖的背面金属层在蚀刻过程中受到保护,从而从根本上避免了侧蚀现象的发生。
天眼查资料显示,华通芯电(南昌)电子科技有限公司,成立于2020年,位于南昌市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10111.1111万人民币。通过天眼查大数据分析,华通芯电(南昌)电子科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息32条,此外企业还拥有行政许可3个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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