国家知识产权局信息显示,福建省福联集成电路有限公司申请一项名为“一种长距离跨度空气桥制程方法”的专利,公开号CN121620191A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明涉及一种长距离跨度空气桥制程方法,所述制程方法包括在衬底材料上沉积第一光阻层,并进行曝光/显影,采用湿法蚀刻衬底材料,在衬底材料上形成第一台面,去除第一光阻层;按照同样操作,继续涂布第二光阻层至第n台面;在第n台面的外侧涂布第n+1光阻层,并进行曝光/显影,再进行金属蒸镀,将第n台面外侧的金属及第n+1光阻层去除,完成空气桥金属沉积;涂布第n+2光阻层,进行曝光/显影,将空气桥下方垂直方向上的衬底材料蚀刻完全,再将第n+2光阻层去除,完成空气桥制程。本发明能够改善因长距离跨导光阻形变的问题,实现了长距离跨度的空气桥结构。
天眼查资料显示,福建省福联集成电路有限公司,成立于2015年,位于莆田市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本101618.539917万人民币。通过天眼查大数据分析,福建省福联集成电路有限公司参与招投标项目333次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息188条,此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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