国家知识产权局信息显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请一项名为“光刻测试图案的生成方法与计算机设备”的专利,公开号CN121613685A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种光刻测试图案的生成方法与计算机设备。其中光刻测试图案的生成方法包括:构建初始测试图案;利用初始测试图案训练去噪扩散概率模型;通过训练后的去噪扩散概率模型结合随机噪声得到生成测试图案;以及对生成测试图案进行筛选处理,得到目标测试图案。本发明的方案,能够自动化生成精简但多元的测试图案,避免过于依赖人工经验,减少测试周期,提升光刻工艺的一致性与稳定性,提高光刻的良率;对当前工艺节点的工艺设计套件规定的设计空间内进行图案探索,并扩展已知图案空间的边界,尽可能覆盖在多种设计空间内的特征,提高覆盖率并加速光刻测试图案的生成。
天眼查资料显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目49次,财产线索方面有商标信息156条,专利信息410条,此外企业还拥有行政许可18个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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