国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种栅网及其制备方法、离子源装置和半导体设备”的专利,公开号CN121617879A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本发明提供了一种栅网及其制备方法、离子源装置和半导体设备,涉及半导体技术领域。通过在具有栅网孔洞分布的栅网的表面,以及栅网孔洞的内壁制备厚度和成分均匀且性能稳定的保护层,通过使用保护层的栅网,有效降低IBS以及离子束刻蚀工艺中栅网引入的颗粒污染和/或微量元素污染,稳定和延长生产工艺的周期时间,增加IBS以及离子束刻蚀工艺过程的生产效率。

天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目267次,财产线索方面有商标信息32条,专利信息493条,此外企业还拥有行政许可14个。

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作者:情报员