国家知识产权局信息显示,浙江艾科半导体设备有限公司取得一项名为“一种晶圆加工工艺中用的清洗装置”的专利,授权公告号CN223970485U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆加工工艺中用的清洗装置,包括机架、清洗槽、旋转组件、若干清洗喷头以及清洗座;旋转组件安装于清洗槽的上端旋转,若干清洗喷头安装于旋转组件上并朝向清洗槽内,清洗槽的底部设有排水口;清洗座设于清洗槽内,清洗座包括托盘与液压油缸,液压油缸的伸缩杆朝上与托盘的底部固定连接,托盘的上端凹陷设有圆形的放置槽,放置槽的底部贯穿设有若干漏水孔;托盘的下端固定设有挡水罩,挡水罩围绕呈圆台状,挡水罩的上端与托盘的下端固定连接,液压油缸位于挡水罩的下方,并且液压油缸完全位于挡水罩在水平面的投影内,对液压油缸进行了基础的防水保护,避免了液压油缸沾水而快速锈蚀,延长了液压油缸的使用寿命。

天眼查资料显示,浙江艾科半导体设备有限公司,成立于2019年,位于嘉兴市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1250万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江艾科半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息2条,专利信息36条。

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作者:情报员