国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“化学沉积系统及沉积方法”的专利，公开号CN121646654A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，一种化学沉积系统包括背面清扫系统，该背面清扫系统具有配置成将气体引导到喷头的顶侧与处理室的顶壁之间的背面区域中的端口。气体分配系统包括多个阀，其可控制以选择性地使来自多个不同气体源的一种或更多种气体流到喷头和/或背面清扫系统，该多个不同气体源可连接到气体分配系统。控制器配置成控制阀，以使第一气体在第一沉积工艺期间流经喷头、第二气体在第二沉积工艺期间流经喷头、非反应性气体在第一准备工艺期间流经喷头、以及非反应性气体在第一沉积工艺、第一准备工艺及第二沉积工艺期间流经背面清扫端口。

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作者：情报员