截至2026年3月10日14点18分，科创半导体ETF（588170）上涨1.69%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨1.93%。

热门个股方面，华海诚科上涨11.49%，欧莱新材上涨6.67%，和林微纳上涨5.48%，先锋精科，艾森股份等个股跟涨。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.01%，成交6.07亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手5.04%，成交1.35亿元。

规模方面，科创半导体ETF近2周规模增长2.68亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏近1周规模增长1014.64万元，实现显著增长。

资金流入方面，科创半导体ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日获得1.34亿元净流入，合计”吸金”2.24亿元，日均净流入达7451.23万元；半导体设备ETF华夏近5天获得连续资金净流入，最高单日获得1.27亿元净流入，合计“吸金”2.07亿元，日均净流入达4137.57万元。

消息面上，台积电2月销售额3176.6亿元台币，同比增长22.2％。台积电1-2月累计销售额7189.1亿元台币，同比增长29.9%。

银河证券认为，在外部环境背景下，供应链安全与自主可控依旧是长期趋势。设备与材料在国产替代顶层设计下逻辑最硬，数字芯片是算力自主的核心载体，先进封测受益于技术升级。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。