来源：新浪基金∞工作室

数据显示，3月12日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购535.72万元，位居当日股票ETF净流入排名181/1134。最新规模5.57亿元，前一日规模5.57亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为0.96%。

近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购2178.04万元，位居股票ETF净流入排名第165/1134。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购5948.21万元，位居股票ETF净流入排名第142/1134。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回4436.32万元，位居股票ETF净流出排名第263/1134。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止3月12日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为4.16亿份，最新规模为5.57亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加70.43%，规模增加87.49%。

流动性方面，截止3月12日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额9.96亿元，日均成交金额4978.21万元；今年以来，43个交易日，累计成交金额34.33亿元，日均成交金额7984.12万元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益33.73%。

最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股包括中微公司、拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、安集科技、芯源微、天岳先进、华峰测控、盛美上海，持仓占比如下：

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688012中微公司10.90%11.86万3235.52万688072拓荆科技9.78%8.80万2904.49万688120华海清科9.37%18.53万2780.82万688126沪硅产业9.16%125.64万2718.87万688361中科飞测8.11%15.74万2407.57万688019安集科技6.47%8.81万1920.49万688037芯源微6.04%12.08万1794.22万688234天岳先进4.81%16.08万1429.11万688200华峰测控4.54%7.09万1349.01万688082盛美上海4.26%7.18万1263.56万

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、科半导体（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码名称基金规模(亿元)
20260312近1月日均成交额
(亿元)净申购(亿元)
20260312近1周净申购
(亿元)近1月净申购
(亿元)基金公司588170华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF85.018.810.532.219.13华夏基金588710科半导体16.431.98-0.140.11-0.08华泰柏瑞基金589020鹏华科创板半导体材料设备主题ETF5.570.530.050.22-0.30鹏华基金

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