国家知识产权局信息显示,上海灵境光启科技有限公司申请一项名为“大线宽深沟槽平坦化方法及晶圆”的专利,公开号CN121665928A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本申请提供了一种大线宽深沟槽平坦化方法,包括步骤:在具有所述大线宽深沟槽的衬底片上方淀积介质层;对所述介质层进行研磨,并将研磨产生的碎屑保留在所述沟槽中;重复上述淀积和研磨的步骤,直至形成平坦的表面。本申请还提供了一种包含使用该平坦化方法加工的沟槽的晶圆。本申请的方案能够降低裂片风险,改善产品性能指标。

天眼查资料显示,上海灵境光启科技有限公司,成立于2025年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,上海灵境光启科技有限公司。

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作者:情报员