国家知识产权局信息显示,拓荆科技(上海)有限公司申请一项名为“容器、液态反应物的控制方法及存储介质”的专利,公开号CN121674947A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明提供了容器、半导体加工设备、液态反应物的控制方法及存储介质。容器包括流量传感器、加热单元及控制器。所述流量传感器设于所述容器的出气口。所述加热单元设于所述容器的外部,用于向所述容器提供热量,以将所述容器内部的液态反应物汽化为气态反应物。所述控制器被配置为:向所述容器内部通入第一流量的载气;经由所述流量传感器,获取流出所述出气口的载气和气态反应物的总流量;根据所述总流量、所述第一流量及所述载气的流入时间,确定所述容器内部的液态反应物的液位偏移量,以修正所述容器内的实际液位高度;根据所述实际液位高度,确定所述液态反应物的实际汽化速率;以及根据所述实际汽化速率,调节所述加热单元的输出功率。
天眼查资料显示,拓荆科技(上海)有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆科技(上海)有限公司参与招投标项目38次,专利信息389条,此外企业还拥有行政许可40个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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