来源：新浪基金∞工作室

3月20日，半导体设备ETF国泰（159516）开盘涨0.54%，报1.679元。半导体设备ETF国泰（159516）重仓股方面，北方华创开盘跌0.03%，中微公司涨0.50%，拓荆科技涨1.04%，长川科技涨1.26%，沪硅产业涨0.48%，华海清科涨0.58%，中科飞测涨0.67%，南大光电涨0.89%，安集科技涨0.28%，芯源微涨1.12%。

半导体设备ETF国泰（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为66.90%，近一个月回报为-8.79%。

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