来源：市场资讯

（来源：SEMI）

CSTIC 2026 3.22-24

极测（南京）技术有限公司

上海浦东嘉里大酒店 3F

|静候莅临|

一台半导体设备配套的精密环控系统

温度控制稳定性

从行业主流的 ±0.01℃

跃升至 ±0.002℃ 的毫K级水准

湿度控制稳定性亦达到±0.1%RH

洁净度最高达 ISO Class 1

——这组硬核数据来自

极测（南京）技术有限公司的匠心突破

Part.1

15秒了解极测

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极测（南京）技术有限公司专注为光刻机、半导体量测设备、键合设备、光学检测设备等高端装备，配套精密微环境控制的核心部件及解决方案，保障其输出精度。满足用户不同温湿度稳定性、洁净度、气压稳定性、抗微振、防磁等需求。

自有生产基地，100%关键工序自控，实现“精准定位需求—高效执行方案—持续服务保障”一体化全链条能力。现已服务多家全球芯片半导体、通信设备、光学光电领军企业与国家重点实验室。

Part.2

自主研发三大系列产品亮相CSTIC

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1、高精密环控系统UPECS：为高端装备配套打造多参数综合协同的环境系统，包含温湿度稳定性，洁净度，气压稳定性等，保障高端设备输出精度。空气温度稳定性最高达±0.002℃，湿度稳定性最高达±0.1%RH，洁净度最高达 ISO Class 1。

2、高精密冷却水机Chiller：通过出水温度恒定的循环冷却水带走设备运行和工艺反应产生的热量，快速散热。出水温度稳定性最高达±0.002℃，温度范围覆盖5℃~35℃。共推出常温压缩型和换热型两款。

3、高精密气体温控机：对气源气体（压缩空气/氮气）控制精度最高达±0.01℃，保障设备精度，温度范围覆盖5℃~60℃，可处理流量10~2500L/min。

Part.3

相约CSTIC 2026，现场解锁专属福利

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