国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于蚀刻表面的方法和设备”的专利,公开号CN121712258A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,用于蚀刻的方法和相关系统。本公开的实施例包括通过执行包括多个蚀刻循环的循环蚀刻过程来蚀刻可蚀刻层。来自多个蚀刻循环中的蚀刻循环包括挥发反应物脉冲,其包括将衬底暴露于挥发反应物。挥发反应物不含金属

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员