国家知识产权局信息显示,合肥致真精密设备有限公司申请一项名为“一种双腔室脉冲激光沉积设备及其工作方法”的专利,公开号CN121700338A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种双腔室脉冲激光沉积设备及其工作方法,涉及薄膜沉积技术领域,中转腔,与至少两个镀膜腔室分别连通;真空抽气系统,与所述中转腔连接,用于中转腔内部始终保持真空;可升降样品台,至少设有两个,分别位于所述中转腔的内部两端;双样品托传输机械手,设置于所述中转腔内,用于在两个所述可升降样品台之间完成样品传递。本发明中在两个镀膜腔室之间设置真空中转腔,在保证真空的情况下,当一个腔室正在进行镀膜时,可以在另一个腔室进行装样、换靶、维护等准备工作,或进行另一项工艺实验。通过移动反射镜片,使得激光器发出的激光束在双镀膜腔室间的精准、快速切换;极大提升了设备整体产出率激光器的投资回报率。

天眼查资料显示,合肥致真精密设备有限公司,成立于2021年,位于合肥市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本234.4827万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥致真精密设备有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目41次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息43条,此外企业还拥有行政许可4个。

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作者:情报员