国家知识产权局信息显示，合肥领航微系统集成有限公司申请一项名为“一种基于电极分区排布的压电MEMS芯片”的专利，公开号CN121717317A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本说明书一个或多个实施例涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及基于电极分区排布的压电MEMS芯片，压电MEMS芯片包括衬底，所述衬底具有相对的正面及背面，所述衬底的背面具有背腔，所述衬底的正面生长压电层，所述压电层包括依次层叠设置的底电极、压电薄膜和顶电极，所述底电极与所述衬底的正面接触，压电MEMS芯片的背腔纵向投影范围内为振膜，位于所述振膜区域内的所述顶电极包括设置在振膜中心的中心电极及围绕在所述中心电极外围的叉指电极。本发明实施例中位于振膜区域的顶电极采取中心‑叉指分区电极排布，可超越单一平面振动的限制，实现多个方向共同作用的三维形变，并且分区电极可协同驱动分散应力，减少大振幅下的分割振动失真。

天眼查资料显示，合肥领航微系统集成有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本780.6396万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥领航微系统集成有限公司参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息105条，此外企业还拥有行政许可4个。

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作者：情报员