国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“边缘环及刻蚀设备”的专利，公开号CN121726300A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供一种边缘环及刻蚀设备，属于半导体远程等离子体源刻蚀技术领域，用于解决晶圆边缘自由基浓度径向梯度较大及副产物排出的问题；刻蚀设备包括：基座和边缘环，基座用于放置待刻蚀的晶圆；边缘环与基座相固定；边缘环包括：第一环形部，当对晶圆进行刻蚀时，晶圆位于第一环形部的环内；第一环形部在第一方向上远离基座的表面为第一表面，第一方向与第一环形部的轴向平行；其中，第一表面与基座在第一方向上的间距，大于晶圆远离基座的表面与基座在第一方向上的间距；该刻蚀设备用于晶圆刻蚀。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息234条，此外企业还拥有行政许可14个。

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作者：情报员