国家知识产权局信息显示,重庆芯联微电子有限公司申请一项名为“一种用于硅片清洗的梯度磁化水洗方法及系统”的专利,公开号CN121729000A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种用于硅片清洗的梯度磁化水洗方法及系统,包括以下步骤:提供经过药液清洗后的硅片;将硅片浸没于水洗槽的清洗液中;在线磁化具有预设磁感应强度的磁化去离子水,并供给至水洗槽中,用以对硅片进行溢流水洗;溢流水洗至少包括第一阶段水洗、第二阶段水洗和第三阶段水洗,分别向水洗槽中供给磁感应强度小于0.1T、0.2T~0.3T、0.1T~0.2T的磁化去离子水进行清洗。本发明通过“弱‑强‑中”三阶段磁化去离子水的智能切换,实现对不同对象的清洗,三个阶段的水洗有效降低了槽内颗粒浓度,从根本上解决了颗粒在硅片升起时再附着的问题,大幅提升了硅片的洁净度,直接提升了器件良率和可靠性。

天眼查资料显示,重庆芯联微电子有限公司,成立于2023年,位于重庆市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本870000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆芯联微电子有限公司参与招投标项目933次,专利信息270条,此外企业还拥有行政许可12个。

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作者:情报员