今天(3月25日)
国家自然科学基金委员会
在2026中关村论坛年会开幕式上发布
2025年度“中国科学十大进展”
复旦大学周鹏、刘春森团队科研成果
全功能二维半导体/硅基混合架构
异质集成闪存芯片成功入选!
这也是上海高校本年度唯一入选项目
该研究通过原子尺度制备技术
将高性能二维存储器件
与cmos芯粒“共形粘附”整体集成
研制出全功能二维nor闪存芯片
支持8位指令与32位并行处理
为原子级芯片集成提供了新范式
标志着我国在下一代
存储核心技术领域掌握了主动权
大数据与人工智能时代对数据存取性能提出了极致要求,传统存储器的速度与功耗已成为阻碍算力发展的“卡脖子”问题之一。2025年4月,复旦大学周鹏、刘春森团队在《自然》提出“破晓”二维闪存原型器件,实现了400皮秒超高速非易失存储,是迄今最快的半导体电荷存储技术。然而,颠覆性器件要真正走向系统级应用,往往是一场漫长的马拉松。硅晶体管自1947年诞生起,历经科研机构、企业等二十余年的接力研发,才终于催生出全球第一颗cpu。而在今天,通过将新一代颠覆性器件直接融入成熟的硅基cmos工艺平台,这一原本需要数十年的积累过程,或许将被大幅压缩。
“破晓(pox)”皮秒闪存器件
为推动颠覆性创新走向工程化应用,复旦大学周鹏、刘春森团队主动融入产业链,将二维超快闪存与成熟硅基cmos平台深度融合,率先实现全球首颗二维-硅基混合架构芯片,攻克了新型二维信息器件工程化的关键难题。
二维半导体厚度仅有1–3个原子,如同“薄翼”般纤薄而脆弱,这一独特属性让其大规模集成充满挑战。对此,团队研发“原子芯片(atomic device to chip, atom2chip)”系统集成框架,让原子级器件真正走向功能芯片。团队提出了片上二维全栈集成工艺,通过模块化集成方案,将二维存储电路与成熟cmos电路分离制造,最后与cmos控制电路通过高密度单片互连技术(微米尺度通孔)实现完整芯片集成。
二维-硅基混合架构闪存芯片结构示意图,包含二维模块、cmos控制电路和微米尺度通孔
此外,团队进一步提出了跨平台系统设计方法论实现混合架构兼容运行,包含二维电路-cmos电路协同设计、二维-cmos跨平台接口设计等。芯片集成良率高达94.3%,支持8-bit指令操作,32-bit高速并行操作与随机寻址。这一成果是二维应用工程化的里程碑,更为新一代颠覆性器件缩短应用化周期提供范例,推动信息技术进入全新的高速时代。
世界首颗二维-硅基混合架构闪存芯片。左侧为半导体晶体管从原型器件到第一款cpu。右侧为二维闪存器件结构、8英寸流片cmos晶圆、二维-硅基混合架构闪存芯片
团队研究成果已以《全功能二维-硅基混合架构闪存芯片》(“a full-featured 2d flash chip enabled by system integration”)为题发表于国际顶尖期刊《自然》(nature)。
团队合影
“中国科学十大进展”遴选活动
“中国科学十大进展”遴选活动由国家自然科学基金委员会主办,国家自然科学基金委员会高技术研究发展中心承办,自2005年启动以来已举办21届,旨在宣传我国基础研究取得的重要进展,激励广大科研人员勇攀科学高峰、产出更多原创性成果,促进公众对基础研究的了解、关心和支持。
2025年度遴选活动由150余位相关学科领域专家学者从600多项基础研究进展中遴选出30项候选进展,经包括480余位两院院士在内的3000余位专家学者进行网络实名投票,遴选出10项进展,经自然科学基金委咨询委员会审议,最终确定入选名单。
集成电路与微纳电子创新学院
组 稿
校融媒体中心
文 字
邓晗
摄 影
受访者提供
制图/编辑
徐沁芃
责 编
邓晗 殷梦昊
上观号作者:复旦大学
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