国家知识产权局信息显示,四川上特科技有限公司申请一项名为“一种晶圆抛光设备”的专利,公开号CN121715972A,申请日期为2026年2月。
专利摘要显示,本发明提供一种晶圆抛光设备,涉及晶圆抛光技术,包括:承载台,其上表面同轴转动设有垫盘;环形仓,有多个,均绕自身中心轴转动设置,并均沿自身轴向及垫盘的径向移动设置,环形仓下表面均贯通有多个气孔,环形仓内均同轴移动配合有升降环;吸盘,有分别设于环形仓内环面内部的多个,吸盘的中心轴均垂直于垫盘上表面并均设于其上方,吸盘均沿自身轴向及垫盘的径向移动设置,吸盘下端设置为开口,吸盘上端同轴连通有气管,气管用于和外部的气体控制机构连通;注液器,设于垫盘中心上方,用于向垫盘中心处提供抛光液。本发明能够在上下料时避免对晶圆的抛光面造成损伤,并提高晶圆的抛光效果,具有较强的实用性。
天眼查资料显示,四川上特科技有限公司,成立于2014年,位于遂宁市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7872.2483万人民币。通过天眼查大数据分析,四川上特科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息69条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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