国家知识产权局信息显示,江苏腾玺裕金属制品有限公司申请一项名为“一种蚀刻加工的多层超薄导流板”的专利,公开号CN121726303A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种蚀刻加工的多层超薄导流板,涉及半导体制造装备领域,包括上顶板和下支撑板,所述上顶板底部与所述下支撑板连接并共同构成导流空腔;所述导流空腔内从上至下依次设置有上导流板和下导流板,所述上导流板底部和所述下导流板顶部均设有多个隔板,所述上导流板和所述下导流板通过贯穿两者的连杆连接,所述隔板与所述连杆相配合,将所述上导流板与所述下导流板之间的空间分隔为若干个导流通道。本发明通过采用多层超薄导流板结构,配合可独立调节的扰流装置、柔性连接件及高度可调的下导流板,实现了对气流方向、强度和分布的多维度动态精细调控,显著提升了工艺腔内气流的均匀性与稳定性。

天眼查资料显示,江苏腾玺裕金属制品有限公司,成立于2017年,位于盐城市,是一家以从事黑色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏腾玺裕金属制品有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目5次,专利信息34条,此外企业还拥有行政许可27个。

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作者:情报员