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案例：电子级化学品生产三乙胺废气处理

项目背景

华南某电子级化学品生产企业，在生产高纯度显影液过程中使用三乙胺作为pH调节剂。由于产品纯度要求极高，废气中不得混入其他化学物质，传统吸收法可能带来二次污染，因此需要开发特殊处理方案。

废气成分与来源

废气主要来自三个洁净车间：

合成车间：连续排放，浓度300-500mg/m³，风量8000m³/h

纯化车间：间歇排放，浓度100-200mg/m³，风量5000m³/h

灌装车间：局部排风，浓度50-100mg/m³，风量3000m³/h

废气特点为浓度波动大、温度恒定（25±2℃）、相对湿度40%-60%，且要求处理过程不得引入新的污染物。

处理工艺流程

采用"冷凝回收+分子筛吸附"工艺路线：

预处理系统

：精密过滤器（0.3μm）去除颗粒物

深度冷凝单元

一级冷凝温度：-15℃，去除60%三乙胺

二级冷凝温度：-35℃，使总去除率达到85%

分子筛吸附系统

采用疏水性分子筛，吸附容量≥28%（wt）

两塔交替运行，吸附周期8小时

热氮气脱附（120℃，0.3MPa）

产品回收系统

冷凝提纯获得99.5%以上纯度的三乙胺

直接回用于生产工序

系统采用PLC全自动控制，与生产设备联锁运行，实现无人值守。

最终效果

项目验收测试结果表明：

三乙胺回收率≥90%

排放浓度≤3mg/m³

年回收三乙胺12.6吨，创造经济效益约50万元

系统运行噪音≤65dB(A)

设备占地面积仅60㎡（传统工艺需120㎡以上）