国家知识产权局信息显示,上海光通信有限公司申请一项名为“光刻工艺窗口的确定方法”的专利,公开号CN121721905A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,一种光刻工艺窗口的确定方法,所述方法包括:提供晶圆,根据预设光刻工艺参数在所述晶圆上进行光刻工艺;对所述晶圆的第一区域进行扫描,根据所述第一区域的扫描结果和第一区域的缺陷的图形特征确定所述缺陷对应的信号特征以及缺陷类型;对第二区域进行扫描,并基于所述缺陷的信号特征和所述第二区域的扫描结果确定所述第二区域的缺陷风险,所述第一区域的实际光刻工艺参数与所述预设光刻工艺参数的差值的绝对值大于所述第二区域的实际光刻工艺参数与所述预设光刻工艺参数的差值的绝对值;根据所述第二区域的缺陷风险判断所述预设光刻工艺参数是否合理。本发明可以具有更高的准确性和有效性

天眼查资料显示,上海光通信有限公司,成立于1988年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析,上海光通信有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目52次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息73条,此外企业还拥有行政许可182个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员