国家知识产权局信息显示,甬矽半导体(宁波)有限公司取得一项名为“晶圆沉积装置和晶圆沉积设备”的专利,授权公告号CN224047505U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种晶圆沉积装置和晶圆 the圆沉积设备,涉及半导体技术领域,该晶圆沉积装置包括晶圆放置平台和旋转遮挡盖,晶圆放置平台上设置有用于容纳晶圆的放置槽,旋转遮挡盖可转动地装配在晶圆放置平台上,并盖设于放置槽,旋转遮挡盖的顶侧设置有贯通至放置槽的沉积气口,晶圆放置平台上还设置有贯通至放置槽的流通气孔,旋转遮挡盖选择性地遮挡流通气孔。相较于现有技术,本实用新型能够在保证正常沉积效果的同时,减缓后段气体浓度下降趋势,降低气体浓度下降速度,提升沉积薄膜的均匀性。
天眼查资料显示,甬矽半导体(宁波)有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本400000万人民币。通过天眼查大数据分析,甬矽半导体(宁波)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目33次,专利信息255条,此外企业还拥有行政许可20个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴