国家知识产权局信息显示,杜邦电子材料控股股份有限公司申请一项名为“用于化学机械抛光的垫”的专利,公开号CN121733426A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,一种用于化学机械抛光的垫,具体涉及一种适用于对半导体、光学、磁性或机电衬底中的至少一种进行抛光的抛光垫,其包含:包含基质聚合物的抛光层,基质聚合物是氨基甲酸酯‑脲共聚物,氨基甲酸酯‑脲共聚物是含氨基甲酸酯的多元醇预聚物和胺固化剂的固化产物,其中含氨基甲酸酯的多元醇预聚物是组分包括一种或多种多元醇、具有硅酮重复单元的硅酮低聚物和多异氰酸酯化合物的含氨基甲酸酯的反应产物,其中硅酮低聚物用甲醇基团封端并与所述多异氰酸酯化合物反应以形成所述含氨基甲酸酯的多元醇预聚物。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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