国家知识产权局信息显示，上海道格特科技有限公司申请一项名为“一种用于MEMS探针卡制造的具有测试图形的光刻掩膜版”的专利，公开号CN121742114A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及探针卡技术领域，提供一种用于MEMS探针卡制造的具有测试图形的光刻掩膜版，其包括：提供至少一层掩膜版，掩膜版上集成有用于MEMS探针制造的测试图形；利用掩膜版，在晶圆上执行MEMS探针的图形化制造工艺，同步形成在晶圆上功能结构，以及分布于晶圆非核心区的测试图形所对应的物理测试结构；在完成一个或多个预设的关键工艺层后，对物理测试结构进行测量，获取反映对应工艺质量的参数数据；将参数数据与预设的工艺规范阈值进行比对分析，获得工艺状态评估结果；基于工艺状态评估结果，对MEMS探针的制造工艺参数或流程进行反馈调节。在MEMS探针制造过程中即可对膜厚、接触电阻、互连线性能、器件基本参数及缺陷密度等关键指标进行定量测量。

天眼查资料显示，上海道格特科技有限公司，成立于2011年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本762.3792万人民币。通过天眼查大数据分析，上海道格特科技有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息92条，此外企业还拥有行政许可24个。

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作者：情报员