国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“一种 the温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统”的专利，公开号CN121752002A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明属于涂胶显影设备技术领域，具体地说是一种恒温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统，包括竖直分隔板、温湿度调节装置、风机过滤机组、单元腔体供风主管、单元腔体排风管、单元腔体风盒、机器人腔体供风主管、机器人腔体排风管、机器人腔体风盒。本发明通过温湿度调节装置、单元腔体供风主管、单元腔体排风管、单元腔体风盒的配合设置，可对各单元腔体有效供恒温恒湿洁净的工艺气体环境，通过风机过滤机组、机器人腔体供风主管、机器人腔体排风管、机器人腔体风盒的配合设置，可对各机器人腔体有效供洁净的非工艺气体环境，且能够有效避免机器人腔体的颗粒进入单元腔体，进而确保涂胶和显影工艺稳定及对应产品质量。

天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20162.7296万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目338次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息676条，此外企业还拥有行政许可69个。

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本文源自：市场资讯

作者：情报员