截至2026年3月30日10:27，科创半导体ETF华夏（588170）下跌1.18%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌1.20%。

热门个股方面，富创精密领涨5.49%，安集科技上涨0.82%，中船特气上涨0.68%;和林微纳领跌3.93%，中巨芯下跌3.03%，金宏气体下跌3.03%。

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手3.02%，成交2.43亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手1.66%，成交4079.86万元。

规模方面，科创半导体ETF华夏近1周规模增长4649.08万元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达24.83亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF华夏最新资金净流出1.52亿元。拉长时间看，近20个交易日内有13日资金净流入，合计”吸金”3.55亿元，日均净流入达1772.65万元；半导体设备ETF华夏最新资金净流出517.52万元。拉长时间看，近20个交易日内有11日资金净流入，合计“吸金”1.78亿元，日均净流入达888.75万元。

消息面上，据TeslaAI微博消息，TERAFAB项目正式发布，预计将实现每年超过1太瓦（1TW）的算力产出。马斯克预测，未来人形机器人行业的潜在年产量或将达到10亿至100亿台。随着机器人进入更大规模应用阶段，对高性能芯片的需求将进一步提升。TERAFAB将为特斯拉人形机器人生产芯片。

国泰海通证券认为，受益于大型云厂商及AI初创公司对算力基建的持续投入，以台积电为代表的晶圆厂5nm以下先进制程连续涨价，同时加速减产8英寸成熟产线；供给侧的主动收缩叠加原材料价格高位震荡，被迫推升了成熟制程的价格中枢。这将推动代工企业积极扩产，利好上游设备等产业链。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。