MOEORW-KZ30真空度测试仪技术参数

1.真空度测量范围:9.999×10-1~1×10-5

2.离子电流测量范围:9.999×10-1~1×10-7

3.测量误差:<5%

4.测量分辨率:10-5pa

5.允许环境温度:-20℃~50℃

6.空气湿度:≤80%RH

7.电源:AC,220V,50Hz±10%

8.外型尺寸:420×290×210(mm)

9.高压输出:脉冲≤30kV15kHz

MOEORW-KZ30真空度测试仪测试原理

设备先将灭弧室两触头拉开至设定开距,随后施加脉冲高压。高压脉冲与灭弧室内残余气体分子产生碰撞电离效应,此时形成的离子电流大小,与室内残余气体密度(即真空度)呈现近似正比关系。

因不同型号真空管的气体电离特性存在差异,相同真空度环境下,其对应的离子电流数值会有所不同。通过预先建立的离子电流—真空度对应曲线,结合实测的离子电流数据,仪器可依托计算机系统自动完成真空度计算,并实时显示最终检测数值。

MOEORW-KZ30 真空度测试仪
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MOEORW-KZ30 真空度测试仪