截至2026年3月30日 13:16，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.03%，成分股富创精密上涨7.93%，艾森股份上涨7.08%，华峰测控上涨6.24%，华海清科，中微公司等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨2.86%，最新价报1.33元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年2月27日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、拓荆科技、中科飞测、沪硅产业、芯源微、安集科技、华峰测控、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比73.19%。