ASM申请包括处理步骤的循环沉积方法及其设备专利,该方法可以产生更高质量的沉积材料
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国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“包括处理步骤的循环沉积方法及其设备”的专利,公开号CN121737670A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,公开了用于在衬底表面上沉积材料的方法和设备。该方法可以包括抑制衬底表面上的材料沉积速率的处理步骤。该方法可以产生更高质量的沉积材料。另外或可替代地,该方法可用于填充衬底表面内的间隙,具有减少的缝隙形成或没有缝隙形成。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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