国家知识产权局信息显示,赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司申请一项名为“台阶结构的制备方法”的专利,公开号CN121772627A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种台阶结构的制备方法,方法包括:提供一半导体基底;在所述半导体基底上形成掩膜层,所述掩膜层为金属层;在所述掩膜层上形成刻蚀窗口,所述半导体基底暴露于所述刻蚀窗口;以所述掩膜层为掩膜,去除暴露于所述刻蚀窗口的部分所述半导体基底;对所述掩膜层进行至少一次刻蚀处理,以使得所述刻蚀窗口的开口宽度逐步增大,每次对所述硬掩膜层进行一次刻蚀处理后,以所述掩膜层为掩膜,去除暴露于所述刻蚀窗口的部分所述半导体基底,以在所述半导体基底上形成至少一个台阶;去除所述掩膜层。该方法可以减少台阶结构在制备过程中的光刻次数,从而简化制备工艺的整体流程,降低刻蚀工艺的工艺难度,降低制备成本。
天眼查资料显示,赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司,成立于2015年,位于北京市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本210526.32万人民币。通过天眼查大数据分析,赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司参与招投标项目26次,专利信息153条,此外企业还拥有行政许可104个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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