3月31日，半导体设备ETF国泰（159516）跌超3%，盘中流入4.62亿份，国产替代持续发展。

信达证券指出，SEMICON China 2026展示了国内半导体设备和材料在下游需求增长和外部环境不稳定下，持续通过自主创新不断进步，国产替代仍在不断演进，半导体设备材料迎来黄金窗口。国内厂商在展会上集中发布了多款覆盖半导体制造核心环节的新技术与设备，旨在提升产能、良率及工艺精度，相关新品显著提升了在半导体制造全流程中的系统化解决方案能力，部分设备在均匀性、缺陷控制、台阶覆盖率等方面已达到国际先进水平，适用于逻辑、存储等先进节点。

半导体设备ETF国泰（159516）跟踪的是半导体材料设备指数（931743），该指数聚焦于半导体产业链中的材料与设备环节，成分股主要涵盖从事半导体材料生产、加工以及相关设备制造的企业。该指数反映了半导体产业上游领域的市场表现和技术创新趋势，是衡量半导体行业发展的重要指标之一。

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