国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“衬底处理系统中的分区衬底支撑件的动态温度控制”的专利，公开号CN121773768A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，用于控制衬底支撑件温度的方法包括响应于嵌入Z个分区的该一者中的温度传感器，设定Z个分区中的一者中衬底支撑件的温度；分别使用Z‑1个功率比来设定Z个分区的Z‑1个分区中衬底支撑件的温度；测量嵌入Z个分区中的Z个电阻加热器分别在第一温度和第二温度下的Z个电阻；响应于温度传感器及Z‑1个功率比，将衬底支撑件的温度设定为第三温度；分别确定第三温度下Z‑1个分区的Z‑1个第一目标电阻；分别测量第三温度下Z个电阻加热器的Z个电阻；以及分别比较第三温度下Z‑1个分区的Z‑1个电阻加热器的Z‑1个电阻与Z‑1个第一目标电阻，并调整Z‑1个功率比。

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作者：情报员