国家知识产权局信息显示,中芯集成电路(宁波)有限公司申请一项名为“法拉第收集器、离子注入装置”的专利,公开号CN121768936A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,一种法拉第收集器、离子注入装置,法拉第收集器包括基体、偏心件和驱动机构;基体用于接收带电粒子束;偏心件用于接收带电粒子束;偏心件设置于基体上,且偏心件的几何中心与基体的几何中心之间具有预设间隔;驱动机构与偏心件传动连接,用于驱动偏心件绕基体的几何中心进行偏心转动,且偏心件转动预设角度后覆盖基体上包括其几何中心的目标区域。本申请能避免基体中心区域因长期承受带电粒子束轰击而产生的磨损甚至击穿现象,不仅显著延长了法拉第收集器的实际使用寿命,还能保障其电流检测的准确性,进而避免晶圆出现电学性能偏差,提升产品良率。
天眼查资料显示,中芯集成电路(宁波)有限公司,成立于2016年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本473304.347718万人民币。通过天眼查大数据分析,中芯集成电路(宁波)有限公司参与招投标项目37次,财产线索方面有商标信息70条,专利信息531条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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