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-来自彤程,龙图光罩,SEMI,复旦大学,南开大学,暨南大学,苏州实验室,欣奕华,中电科48所,安捷伦,湖北菲利华,新维度微纳,卫利等单位的专家将作精彩报告

光掩模版(Photomask, 光罩光掩模)是半导体制造过程中不可或缺的重要组件,在光刻工艺中用作高精度模板,用于将复杂的电路图案转移到硅晶圆上。光罩技术的发展与半导体行业密切相关,随着集成电路(IC)的不断微缩和复杂化,光罩技术也在不断进步。

亚化咨询在《中国光掩模市场研究报告2026》的基础上,研究了国际6大光掩模企业的最新进展,供中国的光掩模与空白掩模版的企业和行业人士借鉴。

光罩行业由少数几家关键企业主导,每家公司都在光罩技术的不同领域占据重要地位。以下是亚化咨询跟进的几家国际企业最新动态:

1.泰克森光掩模(Tekscend,原凸版光罩Toppan Photomasks,日本)

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Tekscend名称由“technology”(技术)和“ascend”(上升)两个词组合而成,象征着致力于进一步提升技术能力,新logo描绘了光掩模与硅晶圆之间的关系,象征着 Tekscend 光掩模与半导体制造商之间的紧密合作与共同成长。

东阪光罩为日本凸版控股旗下的全球性光掩模供应商,主要服务半导体先进制程市场。公司于2024年11月1日正式更名为Tekscend Photomask(泰克森光掩模),以统一全球品牌形象并强化先进微加工领域的市场识别度。亚化咨询《中国光掩模市场研究报告2026》的研究显示,泰克森光掩模公司占据全球光掩模市场约30-40% 的份额。

作为东阪印刷的子公司,也是全球最大的光罩制造商之一。公司提供从标准铬玻璃光罩到先进的EUV光罩的全面产品,其工厂分布在全球范围内,为台积电、三星和英特尔等领先代工厂提供服务。2024年2月,凸版光罩与IBM宣布合作,共同研发2纳米逻辑半导体制程节点的EUV微影制程光罩,旨在结合双方专长,推动半导体产业创新突破。这项为期5年的合作研究将在纽约和埼玉县进行,目的是为2纳米以下制程节点量产提供解决方案,以满足市场需求,并在全球半导体技术竞争中缩短技术差距,为市场带来更高效、先进的制程技术。

2025年7月,公司宣布在法国科尔贝尔工厂安装首台SLX1光掩模激光写入系统,这是该设备在欧洲的首次部署,旨在提升欧洲工厂产能、生产效率及产品组合,并与其在德国德累斯顿的AMTC联合工厂形成协同,以覆盖从常规激光写入光掩模到高端电子束光掩模的全系列产品。

2025年10月上旬,Tekscend Photomask 成功完成首次公开募股(IPO),最终发行价定为每股 3000 日元,总募资金额高达 1566 亿日元,创下日本 2025 年半导体及材料领域规模第二大的 IPO 纪录。募集资金主要用于先进制程光掩模产能扩张和技术研发。

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同期,公司披露新加坡新工厂奠基计划,作为亚洲产能布局的关键一环,该项目预计进一步强化其在APAC地区的快速交付能力,与欧洲科尔贝尔工厂形成全球互补产能网络。 Tekscend Photomask表示,其欧洲、美国、亚洲三地制造基地布局已趋完善,是行业内唯一实现真正全球化制造的光掩模供应商,有助于提升跨区域交付与供应链韧性。

2. 大日本印刷(DNP,日本)

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DNP在光罩市场占有重要地位,特别是在传统和先进光罩(如相位移光罩)领域。公司以其高质量标准和先进的质量保证体系而闻名。DNP已经开始全面开发2纳米代逻辑半导体的光掩模制造工艺,支持半导体制造的尖端工艺EUV(极紫外光)光刻技术。DNP计划在2024年底前运行第二个和第三个多电子束掩模写入系统,以全面开发用于2纳米一代EUV光刻的光掩模制造工艺。

在极紫外线(EUV)光刻之外,DNP 正在积极开辟降低成本和能耗的新路径。2025年12月,DNP 宣布成功开发出精细图案分辨率达 10 纳米线宽的纳米压印光刻(NIL)模板。该模板结合了多电子束掩模写入与自对准双重图案化(SADP)技术,能够满足 1.4 纳米及更先进逻辑半导体的微缩需求。由于 NIL 技术通过物理压印而非复杂光学系统转移图案,此举有望将先进芯片制造的曝光能耗大幅降低 90%,为 AI 芯片制造提供了EUV 之外的高效替代方案。

此外,在 EUV 领域,DNP 于 2026 年 2 月作为战略投资方参与了日本芯片制造商 Rapidus 的融资,旨在直接支持 Rapidus 2027 年 2nm 逻辑半导体的量产目标。

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DNP

2025年12月,报道显示,DNP公司已开发出用于制造 1.4 纳米芯片的模板。《日经新闻》报道,日本大日本印刷公司(DNP)已开发出一项技术,有望将先进半导体的制造能耗降低 90%;此举或将大幅削减人工智能(AI)芯片的制造成本。

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DNP

2026年2月,DNP参与日本芯片制造商Rapidus融资,作为战略投资方加速2nm EUV光刻光掩模的高良率、短交期量产,直接支持Rapidus 2027年2nm逻辑半导体量产目标。DNP通过NEDO"后5G项目"子承包身份,与Rapidus共建最先进芯片供应链,未来还将推进1.4nm及更高精度工艺。

3. Photronics(美国)

Photronics是全球主要的商用光掩模供应商之一,业务覆盖半导体与平板显示两大领域。为全球半导体公司提供高精度的先进节点光罩。该公司近年来扩展了其EUV光罩的生产能力,成为尖端制造技术的重要供应商。

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Photronics作为美国的光罩制造商,在全球主要地区拥有生产基地,并在亚洲、欧洲和北美设有战略性生产基地。

合肥丰创光罩自2019年3月底竣工、4月25日举行开工典礼并实现首片G10.5+光掩模出货后,已稳定运行多年,成为中国大陆面板产业链本地化配套的关键环节。 该工厂从奠基到投产仅用16个月,建成时即具备全球最先进的10.5+代面板光掩模生产能力,显著提升了中国面板产业对大尺寸光掩模的本土供应保障。

公司同时在2026年3月接收了面向AMOLED显示掩模生产的先进掩模写入设备,并计划在韩国工厂安装,用于G8.6 AMOLED等先进显示相关产品。与此同时,Photronics在2026年继续提高资本开支,以扩大可信供应和高端产能基础,包括合肥、厦门等中国工厂的持续运营优化。

4. SK电子(日本)

SK Electronics是一家全球领先的显示面板光掩模(Photomask)专业制造商,成立于 2001 年(由母公司 Shashin Kagaku 的电子部门独立而来),总部位于日本京都。公司专注于为LCD、OLED、等离子显示面板及触摸屏(TSP)提供高精度、大尺寸光掩模,同时业务也辐射至半导体封装、MEMS、LED 导光板等电子器件制造领域。

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公司全面采用合成熔融石英基板,具备亚微米级的图案精度控制能力,支持 G8(第8代)及以上世代面板的光掩模生产,更是全球极少数能够稳定量产 G10/G11(第10代以上)超大尺寸光掩模的寡头厂商。

此外,公司自主开发的多色调光掩模(Multi-tone Photomask,如半色调和灰色调掩模)技术,能够有效减少面板客户的微影制程工序、提升良率并降低制造成本,目前已成为大尺寸及高规格 LCD/OLED 面板生产的标配工艺。

作为全球第二大显示面板(FPD)光掩模独立供应商(市场份额仅次于 Photronics),SK Electronics 采取了极其务实的差异化战略:主动避开半导体先进逻辑(如 EUV 光罩)高昂的资本支出战,全神贯注于大尺寸、高精度 FPD 掩模细分赛道。

5.Compugraphics(英国)

Compugraphics(隶属于 Element Solutions Inc / MacDermid Alpha) Compugraphics 是一家发源于英国、拥有 50 余年历史的老牌光罩制造商,现作为全球电子材料巨头 MacDermid Alpha Electronics Solutions 旗下的核心光罩业务部门运营。公司专注于半导体成熟制程、MEMS、图像传感器及光电子器件等利基市场,核心产品包括 1X 主光罩、缩印光罩(1.8X-10X)、大面积掩模,以及旨在加速半导体原型研发的晶圆直写(Direct Write Wafers)服务。

2011 年,Compugraphics 横向收购了德国半导体设备商 SUSS MicroTec 的美国精密光罩部门。2015 年,包含 Compugraphics 在内的相关资产被 Platform Specialty Products(现 ESI)收购。如今,它与 Alpha、Kester 等品牌整合为MacDermid Alpha,在全球供应链中提供从晶圆前道光罩到后道组装的“端到端”协同支持。

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MacDermid Alpha

2026年,MacDermid Alpha官网明确将 Compugraphics 列为旗下品牌,提供半导体晶圆制造和原型光罩解决方案。产品包括 1X 主光罩(3”x3” 至9”x9”)、大面积掩模(最高 18”x18”)、OPC、光罩保护涂层(MPT™)以及晶圆直写服务(直接在客户提供的晶圆上图案化,适合快速原型和小批量)。

6. HOYA公司(日本)

HOYA在光罩产业链中,HOYA 扮演着双重核心角色:在半导体先进制程领域:它是全球EUV光罩基板(Mask Blanks)的绝对领导者(市占率超70%),提供的是制造 EUV 光罩的“高精密原材料”,而非最终的成品光罩。在平板显示(FPD)领域:它是全球领先的成品光罩(Photomasks)制造商,直接交付图案化的掩模产品。

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HOYA 凭借无可替代的超低缺陷(Zero-defect)控制能力,成为支撑摩尔定律延续的“隐形冠军”。早在 2010 年,HOYA 便与 TSMC(台积电)、ASML及 IMEC 深度合作,攻克了极紫外光刻初期的基材良率难题。

2025-2026技术最新进展(High-NA 攻坚): 随着 ASML 的 High-NA EUV(数值孔径 NA=0.55)光刻机进入量产导入期,传统的钽(Ta)基吸收层会引发严重的“3D 掩模效应”(导致成像模糊)。 在2025 年 SPIE Photomask/EUV 会议上,HOYA顶尖研究员 Ikuya Fukasawa 展示了突破性的EUV 相移掩模(PSM)基板研发成果。HOYA 成功开发出基于新型低折射率(Low-n)材料的衰减相移吸收器(Attenuated PSM)。这些新材料不仅支持更薄的吸收层设计以消除 3D 效应,还能满足严苛的高表面粗糙度耐受性、极强的抗清洗耐久性(耐受多次化学清洗)以及优异的刻蚀性能,为 2nm 及更先进的埃米级(Angstrom)工艺提供了至关重要的成像增益。

FPD 光罩业务:锚定高端显示与 G8.6 世代。HOYA 在 FPD(平板显示)光罩领域拥有深厚的护城河,特别是在需要极高精度的相移掩模(PSM)和多色调掩模(Multi-tone Mask)方面占据全球一流市场份额。

随着苹果等品牌推动 IT 产品(平板、笔记本)全面转向 OLED,显示面板行业正在大举投资 G8.6 代 IT OLED 产线。HOYA 的FPD 业务重心已快速扩展至支持 LTPS、LTPO、柔性折叠屏以及微显示器(如 AR/VR 用的 MicroOLED)。其超高分辨率的大尺寸光罩技术,完美契合了面板厂商对更高像素密度(PPI)和更复杂电路图案的开发需求,维持了极高的产品附加值。

为了应对地缘政治风险并满足日益激增的 EUV 需求,HOYA 构建了“日本本土研发核心 + 东南亚量产枢纽”的战略布局:产能双擎驱动:HOYA 在确立了日本本土的 EUV 研发与高阶试产中心地位后,斥巨资扩建的新加坡 EUV 基板工厂(2023年动工扩产)在 2025-2026 年已全面释放产能。这一布局不仅大幅缩短了向台积电、三星等亚洲核心晶圆代工厂的交期,更确保了供应链的极端韧性。产业链绑定:通过 2025 年的 PSM 技术突破与新加坡基地的稳定交付,HOYA 进一步锁死了与先进制程客户的技术绑定,成功巩固了其在 2nm 以下节点及 High-NA EUV 时代的行业垄断地位。

亚化咨询在《中国光掩模市场研究报告2026》的基础上,研究了国际6大光掩模企业的最新进展,供中国的光掩模与空白掩模版的企业和行业人士借鉴。

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