三星显示申请溅射靶及溅射装置专利,可制造显示装置
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国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“溅射靶、包括溅射靶的溅射装置及使用溅射靶制造显示装置的方法”的专利,公开号CN121794413A,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,根据实施方案的溅射装置包括:提供溅射空间的腔室;安装在所述腔室中并且包含溅射物质的溅射靶;以及面向所述溅射靶的靶基板。所述溅射靶包括设置在第一部分中的第一分段材料和设置在第二部分中的第二分段材料,并且所述第一分段材料中的所述溅射物质的组成比可以不同于所述第二分段材料中的所述溅射物质的组成比。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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