国家知识产权局信息显示,南京华瑞微集成电路有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆夹具及带有该夹具的半导体设备”的专利,公开号CN121793722A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本申请公开了一种半导体晶圆夹具及带有该夹具的半导体设备,涉及半导体制造设备技术领域,通过对现有技术中的晶圆夹持装置的结构进行优化改进,将其夹持部件替换为晶圆定位单元;利用多个晶圆定位单元协同配合夹紧固定一个或多个晶圆;晶圆定位单元包括为倒置的U字形的U形导轨和为橡胶材质且受控滑动定位在U形导轨上的滑移条;滑移条上设有多个横置的限位条,限位条用于承托晶圆,限位条之间的间隙可供晶圆插入;使用时,三根滑移条上的三个限位条共同限制一片晶圆的移动;实现了半导体晶圆夹具一次可夹紧固定多个晶圆、使用便捷、针对晶圆的处理效率较高、适用性强且使用过程中综合耗能较低的技术效果。

天眼查资料显示,南京华瑞微集成电路有限公司,成立于2018年,位于南京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3424.985万人民币。通过天眼查大数据分析,南京华瑞微集成电路有限公司财产线索方面有商标信息7条,专利信息46条,此外企业还拥有行政许可11个。

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作者:情报员