你还记得前几年一提光刻机,网上全是“卡脖子”“买不起”的讨论吗?2025年3月底,上海国际半导体展上,深圳一家叫新凯来的公司突然掏出31款半导体设备——成立才三年啊,直接怼上了国际巨头的垄断位。第二天,通信圈的“敢言派”项立刚就发了声:“光刻机这颗明珠,快要变成玻璃珠了!”这话到底有没有谱?往下瞅,你会发现中国真的在憋大招。

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项立刚是谁?圈内人都知道,这老哥是央视、凤凰卫视的常客,出了名的敢说真话。早在2024年他就写过文章提过这观点,不是突然放炮,是早就有预判。玻璃珠的比方特形象——小时候玩的弹珠几毛钱一颗,兜里随便揣。光刻机以前为啥贵?不就是稀缺嘛,被捧成了神坛上的明珠。可现在不一样了,中国人进场,这玩意儿怕是要跌下神坛。

先说说28nm光刻机的进展——上海微电子的SSA600/20型沉浸式DUV光刻机,已经过了中芯国际这些大厂的验证,良品率达到90%,达到量产标准了!别小看28nm,全球八成芯片需求都在这及以上:汽车芯片、电源管理、工业控制,全覆盖。光这一步,以后很多芯片就不用再眼巴巴等进口了。

深圳新凯来更狠,搞出了激光诱导放电等离子体(LDP)技术的国产EUV系统,名字还挺有中国味——峨眉山、武夷山、普陀山、长白山、阿里山。一家三年新公司敢碰EUV,背后肯定有真东西:独特技术路线加国资背景,这是要改写行业格局的节奏。

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路透社也报了,2025年底中国已经组装出EUV光刻机原型机,政府目标2028年量产芯片,外界觉得2030更现实。但ASML自己从研发到量产也磨了近二十年,我们起步晚,速度真不算慢。

EUV的命门是光源,以前被美国Cymer独家垄断。现在中科院上海光机所的林楠团队,绕开二氧化碳激光器,用固体激光器搞出了LPP-EUV光源。你知道林楠是谁吗?他以前是荷兰ASML的研发科学家,还是光源技术负责人,后来回国搞自主研发——带着一线经验回来,这优势可不是闹着玩的。

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不止一个点突破,是整条产业链在冲:哈工大搞定了13.5纳米极紫外光(7nm及以下关键),清华搞出新型EUV光刻胶,长春光机所的物镜精度到纳米级。不是单打独斗,是一群人一起往前拱。

ASML 2025年总销售额327亿欧元创新高,但中国市场贡献了三成。可他们CEO富凯说2026年中国需求会降——为啥?出口管制卡得严是一方面,中国自己的设备顶上来是更重要的原因。而且ASML最近还裁员1700人,员工还罢工了,好几家投行下调了2026年收入预期。垄断的日子,不好过了。

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中芯国际联合创始人、华大九天和北方华创的人一起撰文,喊着要举全国之力造“中国的ASML”。他们说中国在EUV激光、双工件台、光学系统都突破了,但整合这些技术是“十五五”要啃的硬骨头——差距客观存在,不回避。

上海微电子现在产能是10片晶圆每小时,ASML能到170片。荷兰还加码封锁,2025年10月把DUV出口限制从7nm降到14nm。但封锁越严,我们越要冲——这几年投的钱、进的人,都是前所未有。

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上世纪80年代中国就试过自研光刻机,可基础太薄,部件供不上,后来放弃了,觉得买就行。直到2019年华为被断供,大家才彻底醒了——关键技术不攥手里,人家随时掐脖子。从那以后,光刻机国产化就成了必须走的路。

项立刚说过,产业发展不是靠神来之笔,是普通人踏踏实实熬出来的。一台ASML EUV有10万个零件,要5000家企业配合。我们不是要山寨,是要建自己的整套体系。

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2026年开春,“十五五”规划落地,政府工作报告明确要搞集成电路这些新兴支柱产业,钱、人、政策都到位了——这事儿,有奔头。

参考资料:科技日报《中国EUV光源技术取得突破》;央视新闻《上海微电子28nm光刻机完成量产验证》