国家知识产权局信息显示,苏州微士创芯科技有限公司申请一项名为“复合衬底的制备方法及复合衬底”的专利,公开号CN121793823A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请涉及一种复合衬底的制备方法及复合衬底,方法包括:提供第一晶圆和第二晶圆,第一晶圆和第二晶圆的基底为半导体材料,第二晶圆上形成有埋氧层;键合第一晶圆和第二晶圆,形成键合晶圆;在退火气氛下,对工艺腔室内的键合晶圆进行退火处理;退火处理包括升温处理阶段、退火阶段和降温处理阶段;升温处理阶段中,工艺腔室的内部温度从初始温度升至预设退火温度;退火阶段中,内部温度在预设退火温度下保持预设退火时长;降温处理阶段中,内部温度从预设退火温度降至冷却温度;在退火处理的至少部分时间段内,退火气氛包括氧气,以在第一晶圆和第二晶圆之间形成氧化填充物。由此,有效提高复合衬底的边缘幅宽均匀性。
天眼查资料显示,苏州微士创芯科技有限公司,成立于2025年,位于苏州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州微士创芯科技有限公司。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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