国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于磁悬浮载物台的系统和方法”的专利，公开号CN121794627A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，一种输送系统，包括载物台、两个相对的线性马达对、和控制器。所述两个相对的线性马达对沿纵轴加速所述载物台且沿竖轴维持所述载物台与所述两个相对的线性马达对之间的竖直间隙。所述控制器联接至所述两个相对的线性马达对且控制所述载物台的移动和所述竖直间隙。所述输送系统可以包括磁阻致动器，所述磁阻致动器联接至所述载物台以通过由所述控制器所产生的平衡力维持所述竖直间隙和所述载物台与所述磁阻致动器之间的水平间隙。有利地，所述输送系统可以减少污染（避免气体轴承），减小寄生法向力，减小嵌齿效应，提供低负刚度，维持所述载物台的精确线性控制，并且在高加速度期间维持围绕所述载物台的相等间隙。

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作者：情报员