国家知识产权局信息显示,中环领先半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种调节背氧层厚度控制翘曲度的方法”的专利,公开号CN121793666A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供一种调节背氧层厚度控制翘曲度的方法,包括以下步骤:制备SOI晶圆并获取初始背氧层厚度T0和初始翘曲度W0;根据目标翘曲度Wt,基于背氧层厚度与翘曲度之间的线性关系,计算得到目标背氧层厚度Tt;计算背氧层偏差值ΔT=T0‑Tt,对所述SOI晶圆的背氧层厚度进行调节。本发明的有益效果是基于明确的线性关系,实现了背氧层厚度的定量计算,通过调节背氧层厚度来精准控制翘曲度,有助于更好地与后续的半导体制造工艺兼容,减少了因翘曲导致的工艺偏差和缺陷,能够提高SOI产品的成品率,降低生产成本。

天眼查资料显示,中环领先半导体科技股份有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本539356.0021万人民币。通过天眼查大数据分析,中环领先半导体科技股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目345次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息1191条,此外企业还拥有行政许可356个。

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作者:情报员