国家知识产权局信息显示，宁波晶钻科技股份有限公司申请一项名为“一种去除MPCVD腔内壁积碳的变频等离子体清洗装置”的专利，公开号CN121781106A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明提出了一种去除MPCVD腔内壁积碳的变频等离子体清洗装置，涉及金刚石制备领域。包括反应腔本体，反应腔本体分为微波谐振腔和微波放电腔，微波谐振腔上设有微波调节单元，其侧壁上还连接有第二微波源；微波放电腔的侧壁连接有质量流量计和真空泵，其底部还设有铜基台；微波谐振腔和微波放电腔之间设有石英玻璃，微波调节单元包括相互连接的第一微波源、可调谐三销钉、预设短路面、可调短路面和波同转化器，波同转化器通过导体辐射天线和微波谐振腔相连。本发明通过动态调整微波频率，驱动等离子体在腔体内壁进行全方位的“转动式”覆盖，从而有效消除清洗过程中的死角，保障腔体各区域都能被等离子体充分作用，实现更均匀、彻底的清洗效果。

天眼查资料显示，宁波晶钻科技股份有限公司，成立于2013年，位于宁波市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本6077.24万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波晶钻科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息134条，专利信息99条，此外企业还拥有行政许可11个。

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作者：情报员