谁能想到,被西方卡脖子卡了多年的光刻机,短短几年就跑出了一堆实打实的突破。敢说真话的行业评论员项立刚直接放话,原来被捧上神坛的光刻机明珠,很快就要变成随处可见的玻璃珠。这话到底是口嗨还是有硬支撑?今年三月上海半导体展上曝出的料,还真值得好好说道说道。
这次出风头的是深圳一家叫新凯来的公司,成立才短短三年,直接在展上甩出了31款半导体制造设备,摆明了就是冲国际巨头的垄断位置去的。产品线铺得又宽又密,谁看了都得说一句初生牛犊不怕虎。展会第二天项立刚就把这话放出去了,其实他早在2024年就说过这个观点。
项立刚是圈内有名的敢说,做了多年通信和智能互联网研究,也常上电视台做评论,从来不会藏着掖着。他说的玻璃珠这个比方,其实太好懂了,就是小时候我们兜里揣的弹珠,几毛钱就能买一把,没人当宝贝。原来光刻机被垄断,贵得离谱,还被捧着当神坛上的明珠,等中国人掌握了技术,产能上来,自然就变回平价的玻璃珠了。
这话其实不是瞎扯,当年的液晶面板就是最好的例子。早年韩国企业垄断面板市场,一块面板卖得死贵,想拿货还得看人家脸色。后来京东方咬着牙亏了十几年杀进去,现在咱们国家面板产能占了全球一半还多,再也没人能用面板卡我们脖子,价格也打下来了。
上海微电子搞的SSA600/20型28nm沉浸式DUV光刻机,已经过了中芯国际这些头部厂的验证测试。现在良品率已经提到90%,完全够量产标准了。别小看28nm,全球八成芯片需求都在28nm及以上,汽车芯片、工业芯片都能用,这一步迈出去,好多芯片都不用再求人进口了。
新凯来更狠,直接搞出了用激光诱导放电等离子体技术的国产EUV系统,连产品命名都用中国名山,峨眉山、武夷山、普陀山这些,听着就提气。一家成立才三年的公司敢啃EUV这块硬骨头,没点真东西根本不敢这么玩。靠着独特技术路线加上国资背景,现在已经在悄悄改写行业格局了。
关于EUV光刻机的进度,路透社都有报道,咱们国家2025年底已经组装出了EUV光刻机原型机。官方目标是2028年用它生产功能芯片,外界普遍觉得2030年更现实。我们不吹牛皮,原型机出来离量产确实还有距离,但你想想ASML当年从研发EUV到量产,磨了快二十年,咱们起步晚,这个速度真的不算慢。
光源是EUV光刻机的命门,过去很长时间都被美国Cymer公司独家垄断。现在中科院上海光机所的林楠研究员带着团队,绕过了二氧化碳激光器路线,用固体激光器技术搞出了LPP-EUV光源。林楠本身还当过ASML的研发科学家,还是光源技术部门的负责人,后来主动回国搞自主研发,带着核心经验回来冲,这事本身就很说明问题。
不止光源,哈工大的团队搞定了极紫外光的核心难题,中心波长13.5纳米的光源,刚好能支持7纳米及以下先进制程。清华大学搞出了新型EUV光刻胶,长春光机所的物镜系统精度也做到了纳米级。现在不是某一个点在突破,是整条产业链都在往前拱。
ASML2025年总净销售额达到327亿欧元,销售额创了新高,其中三成都是中国市场贡献的。但ASML的首席执行官公开说了,预计2026年中国客户的需求会明显下降。一方面是出口管制卡得越来越严,另一方面,咱们自己的设备已经顶上来了,需求可不就降了嘛。
ASML现在日子也不好过,前段时间宣布裁员1700人搞重组,结果还引发了员工罢工。同期好多投行都下调了它2026年的收入预期,一边裁人一边丢市场,曾经垄断全球的唯一EUV供应商,压力真的不小。我们也不幸灾乐祸,市场规律就是这样,垄断被打破,躺着赚钱的日子肯定到头了。
差距我们也不藏着,业内大佬都说实话,中芯国际联合创始人还有华大九天、北方华创的负责人都公开撰文,说咱们确实在EUV激光、双工件台、光学系统这些核心部分都有突破了。但要把这些技术整合到一起,还是十五五期间必须啃的硬骨头。现在上海微电子的产能效率是一小时10片晶圆,ASML能做到一小时170片,这个差距明明白白摆在那。
荷兰那边还在加码封锁,2025年十月推出的光刻机出口新规,把DUV设备的出口限制直接从7纳米下调到了14纳米,卡得比之前更紧了。换个角度看,封锁越严,倒逼我们自己加速的力度也就越大。这几年咱们半导体行业投的钱、进的人,规模都是从来没有过的。
回头看几十年前,八十年代咱们就试过自研光刻机,那时候基础太薄,关键零部件也拿不到,最后不得不停下,想着买别人的就行,自己造太费劲。2019年美国断供华为芯片,那一下给所有人都打醒了,关键技术攥不到自己手里,人家随时能掐你脖子,从那之后,光刻机国产化就是没得选的必走路。
项立刚说过一段挺实在的话,产业发展哪有什么神来之笔的奇迹,就是一大堆普通人踏踏实实攒积累,一点一点熬出来的。ASML一台EUV光刻机有十万个零件,要全球五千家企业配合才能造出来。我们要做的也不是山寨一台ASML出来,是建一套属于我们自己的完整产业链。
现在十五五规划已经落地推进,政府工作报告明确说了要培育壮大新兴产业和未来产业,把集成电路打造成新兴支柱产业。现在资金到位了,人才也跟上了,政策也给足了支持,集成电路直接摆在了国家战略的核心位置。一步一个脚印往前走,啥硬骨头咱们都能啃下来。
参考资料:新华网 中国集成电路产业发展观察
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