国家知识产权局信息显示,江苏优众微纳半导体科技有限公司申请一项名为“一种厚硅基光栅镜的高精度定位居中纳米压印加工方法”的专利,公开号CN121806373A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本发明公开了一种厚硅基光栅镜的高精度定位居中纳米压印加工方法,本加工方法包括以下步骤:S1、以6mm硅锭为衬底,进行清洗;S2、清洗完成后正面进行磁控溅射镀金属;S3、镀金属完成后进行匀压印胶和纳米压印;S4、压印CD确认和底胶确认IBE刻蚀和去胶剥离。本发明中精准对位到硅碇中心点位,进而保证图形定位的稳定性高,偏移小于100um,图形完整,精准度高。

天眼查资料显示,江苏优众微纳半导体科技有限公司,成立于2023年,位于南通市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本14214.6544万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏优众微纳半导体科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目10次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息54条。

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作者:情报员