可迪尔晶圆废气治理企业案例:沸石转轮+TO解决晶圆废气问题|可迪尔|废气|沸石转轮|风机

最近这两年，我有个挺明显的感受：身边开绿牌车的朋友，从一两个变成了小半个朋友圈。

早高峰等红灯的时候，旁边悄无声息地滑过来一辆电车，没有发动机那“轰隆”一下的动静，就听见轮胎压过路面的沙沙声。充电这事也不像前几年那么愁人了，商场地下、小区门口、高速服务区，充电桩跟便利店似的，到处都有。2025年新能源汽车卖了1600万辆，一半多的新车都是绿牌。这数字放五年前，谁敢想？

不过我今天想聊的不是车本身，而是一件挺有意思的事：这些车跑得这么顺，背后靠的是一颗比指甲盖还小的芯片——车规级功率芯片。电机转不转、电池怎么放电、整车安不安全，全是它说了算。而这颗芯片的产地之一，就在北京顺义。

顺义那边有一个6英寸的车规级功率半导体晶圆生产基地，做的是第三代半导体芯片，从设计、加工到封装测试，一整条产业链都在那儿。芯片质量确实不错，但生产过程中有个挺头疼的问题——废气。

芯片越小，废气越麻烦

可能很多人觉得，做芯片不就是在一个很干净的车间里，拿光刻机刻来刻去吗？实际上，光刻、刻蚀、清洗这几个核心环节，都会产生有机废气。比如光刻的时候，光刻胶里的溶剂会挥发出来，主要成分是丙二醇甲醚醋酸酯、环己酮这些东西；刻蚀环节要用含氟或含氯的气体和硅反应，出来的废气带毒，而且光刻胶在等离子体作用下也会分解出有机物；清洗晶圆用的有机溶剂一蒸发，又一批废气产生了。

这些废气有几个特点：成分乱、浓度时高时低、还有腐蚀性。更要命的是，车规级芯片对洁净度的要求高到变态，哪怕废气处理过程中压力或温度稍微抖一下，都可能反过来污染生产车间。所以处理这套废气，不能简单粗暴，得精细着来。